晶圆搬运机器人

可应对SEMI-F47及SEMI-S2规格,无行驶装置即可应对3FOUP~4FOUP的EFEM

NTS 系列

■2FOUP到3FOUP的EFEM对应
■通过独立的驱动结构,实现高精度的动作
■符合SEMI-F47、SEMI-S2

NTS10

NTS10

  • 最大有效载荷
  • 最大臂展 1066mm
  • 应用分类 晶圆搬运
  • 机器人分类 晶圆搬运机器人
  • 安装方法 地面
  • 系列 NTS 系列
NTS20

NTS20

  • 最大有效载荷
  • 最大臂展 1066mm
  • 应用分类 晶圆搬运
  • 机器人分类 晶圆搬运机器人
  • 安装方法 地面
  • 系列 NTS 系列

TTS 系列

■采用了上下轴电位图结构,可实现广泛的上下动作范围
■符合SEMI-F47、SEMI-S2

TTS10

TTS10

  • 最大有效载荷
  • 最大臂展 1066mm
  • 应用分类 晶圆搬运
  • 机器人分类 晶圆搬运机器人
  • 安装方法 地面
  • 系列 TTS 系列
TTS20

TTS20

  • 最大有效载荷
  • 最大臂展 1066mm
  • 应用分类 晶圆搬运
  • 机器人分类 晶圆搬运机器人
  • 安装方法 地面
  • 系列 TTS 系列