晶圆搬运机器人

■符合 SEMNI-F47 和 SEMI-S2 标准,无需走行装置即可应对至多4FOUP规格EFEM。

NTJ 系列

■通过川崎研发的驱动构造,实现高精度且流畅的动作。

NTJ20

NTJ20

  • 最大有效载荷
  • 最大臂展 1067.2mm
  • 应用分类 晶圆搬运
  • 机器人分类 晶圆搬运机器人
  • 安装方法 地面
  • 系列 NTJ 系列
NTJ10

NTJ10

  • 最大有效载荷
  • 最大臂展 1067.2mm
  • 应用分类 晶圆搬运
  • 机器人分类 晶圆搬运机器人
  • 安装方法 地面
  • 系列 NTJ 系列

TTJ 系列

■采用伸缩结构,可兼顾向低位传递和向高位输送。

TTJ10

TTJ10

  • 最大有效载荷
  • 最大臂展 1067.2mm
  • 应用分类 晶圆搬运
  • 机器人分类 晶圆搬运机器人
  • 安装方法 地面
  • 系列 TTJ 系列
TTJ20

TTJ20

  • 最大有效载荷
  • 最大臂展 1067.2mm
  • 应用分类 晶圆搬运
  • 机器人分类 晶圆搬运机器人
  • 安装方法 地面
  • 系列 TTJ 系列

NTH系列

■通过手臂旋转中心后移实现了长手臂、无需走行装置即可应对4FOUP。

NTH20

NTH20

  • 最大有效载荷
  • 最大臂展 1226.6mm
  • 应用分类 晶圆搬运
  • 机器人分类 晶圆搬运机器人
  • 安装方法 地面
  • 系列 NTH 系列

NX系列

■通过紧凑的手臂设计,可以节省安装空间。

NX420

NX420

  • 最大有效载荷
  • 最大臂展 736mm
  • 应用分类 晶圆搬运
  • 机器人分类 晶圆搬运机器人
  • 安装方法 地面
  • 系列 NX 系列