TTJ10

采用伸缩结构,可兼顾向低位传递和向高位输送。

・单手臂单手
・Z轴行程范围:0~740mm
・End Effector类型:真空吸附/边缘夹持
・对应晶圆尺寸:8英寸、12英寸
・对应FOUP数:最多3FOUP