NTJ10

通过独有的驱动构造,实现高精度且流畅的动作。

・单手臂单手
・Z轴行程范围:0~470mm
・End Effector类型:真空吸附/边缘夹持
・对应晶圆尺寸:8英寸、12英寸
・对应FOUP数:最多3FOUP