晶圆搬运 晶圆搬运是半导体制造装置的前工序中的一道重要工序,尤其需要高精度和高速度。川崎的晶圆搬运机器人可以提供高品质、高性能的洁净机器人,市场占有率在全球名列前茅。 晶圆搬运的机器人 晶圆搬运机器人 在半导体制造装置的重要工序中负责搬运晶圆的机器人。 更多的