NX420 最大臂展736 mm机器人分类晶圆搬运机器人安装方法地面系列NX 系列 通过紧凑的手臂设计，可以节省安装空间。 ・单手臂双手 ・Z轴行程范围：0～330mm ・End Effector类型：真空吸附/边缘夹持 ・对应晶圆尺寸：8英寸 ・对应FOUP数：最多2FOUP 应用分类晶圆搬运支持的控制器F60
