NTS10 最大臂展1066 mm机器人分类晶圆搬运机器人安装方法地面系列NTS 系列 NTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分,能够实现高精度、高刚性的动作。 应用分类晶圆搬运 资料下载 手册 下载 ※使用本网站上刊载的CAD数据时,请确认并事先了解 点击此处 注意事项.
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